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下水道疏通

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体半导体器件,是规范操作电脑,手机,和所有其他现代电子电路的基本构建块。作为半导体工业不可或缺的材料,晶体管在生产时如果附着了灰尘会对生产出来的芯片造成不良反应,所以半导体晶体管的生产对车间要求很高。本文以EPC工程(总承包)集成服务商CEIDI西递某项目为例,具体谈谈半导体晶体管生产车间洁净工程。对于半导体器件来说,譬如绝缘栅双极型晶体管(Insulated Gate Bipolar Transistor,简称IGBT),需要外延层具有较高质量的晶体结构,而且对外延层的厚度、导电类型、电阻率及电阻均匀性等方面均有一定的要求。而半导体的电阻率一般随着温度、掺杂浓度、磁场强度及光照强度等因素的变化而改变,对生产场所要求非常高。相对其它工业建筑而言晶体管的内部装修设计难度较大。其涉及数百个制造工序,由于其生产技术的特殊性,为了产品的质量及使用寿命,对生产场所的环境,如温度、湿度,压力、通排风量、洁净度等都有严格要求。 送风系统 CEIDI西递在建设这个项目中,送风系统采用的是FFU系统,FFU系统的上静压箱相对于周围环境只是微正压,上静压箱内可以布置或穿越诸如排风和排烟等管道,使空间得到合理利用。而相比其他的送风系统如集中送风系统和隧道系统,FFU系统在灵活性、调控性、可靠性、气密性与空间利用方面优势显著。 环境参数设置 1、温度。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏,因此CEIDI西递将电子厂房的温度应控制在℃左右。 2、细菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨虫)在相对湿度超过%的环境中可以活跃地繁殖,一些菌群在相对湿度超过%时就可以增长,所以CEIDI西递将湿度控zara制在处于%至%的范围之间时,可以使细

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菌的影响以及呼吸道感染降至最低。 3、无尘车间与室外的静压差不小于Pa,不同空气洁净度的   

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